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激光诱导金属化(LIM)设备
主要用于优化金属与半导体的接触,降低接触电阻,从而提高光伏电池的转换效率。
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电池激光Poly减薄设备
主要用于光伏电池制造中,对电池片背面的多晶硅(Poly-Si)层进行选择性减薄处理
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硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机
主要用于半导体与光伏电池生产制造过程中,实现硅片在石英舟与花篮之间的自动装卸。
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碳化硅一体舟托
产品材料:碳化硅;产品结构形式:一体烧结成型;产品用途:在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机,硅片花篮的运输载具。
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碳化硅小舟
产品材料:碳化硅;产品结构形式:一体烧结成型;产品用途:在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机,承载硅片。
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碳化硅拼装舟托
产品材料:碳化硅;产品结构形式:分体烧结成型,胶粘拼接组装;产品用途:在线扩散/退火/LPCVD等自动上下料机,硅片花篮的运输载具。
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等离子体增强化学气相沉积设备PECVD
利用等离子体激活气态反应物,低温环境下在基材表面沉积均匀、致密的功能性薄膜。
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制绒上下料机
制绒上下料机是应用于太阳能电池片制绒工艺前后硅片的上下转移。
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ALD自动化上下料机
主要用于光伏、超大规模集成电路、OLED 及先进封装等领域。
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PE自动化上下料机
为PECVD主机提供全自动、高精度的硅片搬运与装卸,衔接前后工艺实现生产连续化。
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粗丝热场
选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命;适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
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细丝热场
LAPLACE热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性,适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
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链式+槽式二合一上下料机
主要用于硅片的自动化传输与上下料操作。
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镀层石英管
通过纳米结晶技术制备镀层石英通管,产品的耐温性能、热震性能、抗腐蚀性能明显提升。适用于光伏电池产线热制程工艺设备。
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石英
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间隙贴膜机
光伏组件生产中的重要设备,主要用于在光伏组件的玻璃上贴敷反光膜带,以提高太阳光的利用率和组件的光电转换效率。
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