功能介绍
主要用于半导体与光伏电池生产制造过程中,实现硅片在石英舟与花篮之间的自动装卸。
1、自动上下料:将经过工艺处理后的石英舟内的硅片自动化取出装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动从花篮中取出装入石英舟,实现物料搬运的自动化,减少人工干预。
2、高精度定位与抓取:通过精密的机械结构和控制系统,确保硅片的抓取和放置位置准确,避免硅片受损,设备可稳定可靠地运行,碎片率≤0.01%。
3、设备兼容性:可匹配市面所有主设备使用,兼容尺寸为 18X-230mm 的硅片,具有较强的通用性和适应性。
4、高产能与稳定性:具有较高的产能,能够满足大规模生产的需求,同时稼动率≥99%,可确保生产线的连续稳定运行。