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细丝热场
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细丝热场
参数表
产品介绍
LAPLACE热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性,适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
技术参数及指标
兼容石英管直径
430-540mm
温区数量
≥6个
分区数量
≥4个
恒温区长度
≤2700mm
最大升温速率
20°C/min
最大降温速率
5°C/min
温控精度
±1°C/4h
温控范围
≤1100°C
使用寿命
≥1年
产品优势
优越的温度均匀性及超长的恒温工作区
温度无过冲
缩短快速升温及快速降温工艺时长
可加热到更高温度,加热体变形小,寿命长
无需采用变压器,可以实现灵活的控温方式
优越的耐热材料保温性能,实现低能耗