为PECVD主机提供全自动、高精度的硅片搬运与装卸，衔接前后工艺实现生产连续化。
1、全自动物料转运：无需人工干预，完成基材从料盒与设备反应腔之间的取放、传送，包括上料（送基材进设备）和下料（取基材出设备）。
2、高精度定位与抓取：通过机械臂、吸盘或夹具配合视觉定位，确保基材抓取平稳，搬运过程中定位精度达微米级，避免划伤、破损。
3、工艺衔接与兼容：适配不同尺寸硅片，可与多台 PE 设备联动，实现多工序连续生产，兼容不同料盒规格。
4、安全与状态监控：配备防碰撞、防掉落传感器，实时监测物料状态、设备运行情况，出现异常自动停机报警，保障生产安全。
5、产能与效率提升：替代人工上下料，减少等待时间，单次上下料周期短，支持 24 小时连续运行，显著提升整体生产线产能。