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粗丝热场
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粗丝热场
参数表
功能介绍
选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命;适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
参数配置
兼容石英管直径
430-540mm
温区数量
≥6个
分区数量
≥4个
恒温区长度
≤2700mm
最大升温速率
20°C/min
最大降温速率
5°C/min
温控精度
1°C/4h
温控范围
≤1100°C
使用寿命
≥1年
技术特点
整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放
陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、 化学稳定性好,施工方便等优点
陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性