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PE自动化上下料机
石墨舟(PE)自动化主要功能:将经过工艺处理后的石墨舟内的硅片自动化取出导片装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动化从花篮中取出导片装入石墨舟,可匹配市面所有主设备使用,稳定可靠,兼容尺寸182-230mm;
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粗丝热场
选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命;适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
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细丝热场
LAPLACE热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性,适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
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链式+槽式二合一上下料机
链式槽式一体上下料自动化设备主要功能是对接链式和槽式主机,完成花篮内硅片发片平铺后进入链式主机;链式工艺后,片子再次导入工艺花篮,并将满花篮送入槽式主机;槽式工艺后,将满花篮从主机搬出后对接AGV。稳定可靠,可匹配市面所有主设备使用;
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镀层石英管
通过纳米结晶技术制备镀层石英通管,产品的耐温性能、热震性能、抗腐蚀性能明显提升。适用于光伏电池产线热制程工艺设备。
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石英
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间隙贴膜机
通过在玻璃上贴敷反光膜带,填补电池组件的片间隙及串间隙,通过基材上的微结构,利用玻璃和空气界面的全反射原理使电池片间隙位置的阳光得到二次利用,提高太阳光的利用率。
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