硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

参数配置

型号LOA12000GL
产能整片12000片/小时，半片22000片/小时
稼动率≥99%
碎片率≤0.01%
硅片尺寸18X~23X(方形或矩形硅片)/兼容半片18X*91、210*105
选配1.来料花篮碎片检测 2.石英舟碎片检测 3.方阻检测 4.膜厚检测

技术特点

龙门式机构装卸硅片+六轴机械手搬运片篮，
双工作位切换装卸片，产能高效
采用标准模块化编程，完善的检测报警系统，
简化故障排查流程
吸盘，顶尺等关键部件采用特殊材质及加工工艺，
降低对硅片的损伤
兼容人工和AGV上下料，选配 MES功能
曲翘片兼容性优，适用BC电池