主要用于在硅片上形成磷掺杂层，以创建 PN 结。
1、实现磷原子扩散掺杂：通过高温热分解和化学反应，将磷源气体分解，使磷原子扩散到硅片表面，形成磷硅玻璃（PSG）层和磷掺杂层，实现 P 型硅片向 N 型的转变，从而形成 PN 结构。
2、保证扩散均匀性：设备通过真空泵系统将反应腔室抽至预设负压状态，通常为 100-150mBarr，降低腔室内气体分子密度，增大气体分子平均自由程，使磷原子分布更加均匀，从而保证硅片扩散的均匀性，有效提升太阳能电池的转换效率。
3、兼容多种工艺和硅片尺寸：具备多种工艺兼容能力，除了磷扩散外，还可兼容硼扩散、氧化、退火等工艺。同时，能兼容主流的18X-230mm尺寸的硅片。
4、高效产能：采用大产能设计，单管载片量为 2400-3120 片/管，可满足大规模生产的需求。
5、低消耗与低成本：可节省大量的磷源气体，如 POCl₃节省高达 50%，同时设备的小占地和低热负载也降低了使用成本。
6、自动化与智能化控制：配备全自动智能化控制系统，具备一键式温度自整功能，可减少调试时间，同时易于集成于 MES 或生产控制系统中，与所有常规自动化解决方案相兼容，实现生产过程的自动化监控和管理。
