主要用于满足多种太阳能电池结构的热退火和热激活工艺需求。
1、实现低压氧化与退火工艺：在低压氛围下，设备可通过热分解等方式使硅片表面形成氧化层，同时也能对硅片进行退火处理，改善硅片的晶体结构，提高硅片的性能和稳定性，有助于提升光伏电池的整体质量和效率。
2、温度控制精准：温度范围为 600-1050℃，并配置了独创的四分热场，搭载 ATS 系统，控温更加精准，能够为氧化和退火工艺提供稳定的温度环境，确保工艺的一致性和重复性。
3、兼容多种硅片尺寸：该设备可兼容 18X-230mm 各种硅片尺寸，满足不同规格光伏电池片的生产需求，具有较强的通用性和适应性。
4、大产能与低成本：采用双插大产能设计，单管载片量可达 2400-3120片 / 管，有效降低了单位生产成本，提高了生产效率。
5、自动化与智能化控制：配备全自动智能化控制系统，具有一键式温度自整功能，可减少调试时间，同时易于集成于 MES 或生产控制系统中，实现生产过程的自动化监控和管理，操作方便，维护简单。
6、密封性好与冷却高效：采用新型法兰固定方式，提升了设备的密封性，保证了低压工艺环境的稳定性。同时，配备新型水冷炉门系统和新型冷却净化台，可实现快速冷却，提高生产效率和设备的使用寿命。