参数配置

• 产品尺寸L5800mm*W2800mm*H2500mm
• 产能≥9000pcs/h
• 稼动率≥98%
• 碎片率≤0.02%
• 激光波长532nm
• 上料视觉检测抓边定位
• 兼容硅片尺寸18X-210mm
• 功率稳定性≤2% rms
• 激光器寿命≥20000h
• 图形打标精度±15μm
• 重复精度±10μm
• 振镜最大扫描速度80m/s
• 激光加工方式振镜扫描