ALD自动化上下料机

ALD自动化上下料

ALD自动化上下料机

功能介绍

主要用于光伏、超大规模集成电路、OLED 及先进封装等领域。

1、自动上下料:能够将经过工艺处理后的铝舟内的硅片自动取出装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动从花篮中取出装入铝舟,实现物料搬运的自动化,减少人工干预。
2、高精度定位与抓取:通过精密的机械结构和控制系统,如采用伯努利吸盘等,确保硅片的抓取和放置位置准确,减少吸盘吸取造成的偏移,避免硅片受损。
3、设备兼容性:可匹配市面多种主设备使用,兼容尺寸为 18X-230mm 的硅片,具有较强的通用性和适应性。
4、高效稳定运行:设备整体结构稳定牢固,上下料平稳快捷,不仅使得硅片传输更加平稳,而且也能够提高硅片传输的效率,可实现长时间稳定运行,保障生产线的连续性。
5、模块化设计:采用模块化设计,能够与市场主流设备进行配套,并根据客户需求进行定制,满足不同企业的生产需求。

参数配置
  • 产品尺寸L19200mm*W6700mm*H3700mm
  • 产能单插:18000片/小时(@18X) 15000片/小时(@210)
    双插:22000片/小时(@18X) 20000片/小时(@210)
  • 适用范畴ALD自动化上下料
  • 稼动率≥99%
  • 碎片率≤0.03%
  • 硅片尺寸18X-230mm
  • 选配花篮来料碎片检测
技术特点
  • 曲翘片兼容性优,适用BC电池
  • 兼容人工和AGV上下料选配 MES 功能
  • 机台内布局简单,空间适宜,便于设备功能扩展与设备维护
  • 吸盘等硅片接触部件采用特殊材质及加工工艺,降低对硅片的损伤,降低碎片率