硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

硼扩/磷扩/氧化/LP自动化上下料机

功能介绍

主要用于半导体与光伏电池生产制造过程中,实现硅片在石英舟与花篮之间的自动装卸。

1、自动上下料:将经过工艺处理后的石英舟内的硅片自动化取出装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动从花篮中取出装入石英舟,实现物料搬运的自动化,减少人工干预。
2、高精度定位与抓取:通过精密的机械结构和控制系统,确保硅片的抓取和放置位置准确,避免硅片受损,设备可稳定可靠地运行,碎片率≤0.01%。
3、设备兼容性:可匹配市面所有主设备使用,兼容尺寸为 18X-230mm 的硅片,具有较强的通用性和适应性。
4、高产能与稳定性:具有较高的产能,能够满足大规模生产的需求,同时稼动率≥99%,可确保生产线的连续稳定运行。

参数配置
  • 产品尺寸L8450(含输送线尺寸)mm*W3200mm*H3262mm
  • 产能整片12000片/小时
  • 稼动率≥99%
  • 碎片率≤0.01%
  • 硅片尺寸18X-230mm
  • 选配1. 来料花篮碎片检测 2. 石英舟碎片检测 3. 方阻检测 4. 膜厚检测
技术特点
  • 龙门式机构装卸硅片+ 六轴机械手搬运片篮,双工作位切换装卸片,产能高效
  • 采用标准模块化编程,完善的检测报警系统,简化故障排查流程
  • 吸盘、顶尺等关键部件采用特殊材质及加工工艺,降低对硅片的损伤
  • 兼容人工和AGV上下料,选配 MES 功能
  • 曲翘片兼容性优,适用BC电池