功能介绍
主要用于光伏电池制造中,对电池片背面的多晶硅(Poly-Si)层进行选择性减薄处理,其主要功能包括:
减少寄生光吸收、优化电学性能、释放残余应力、实现图形化减薄。该设备通常结合湿法刻蚀或等离子体修复工艺,确保减薄后的Poly-Si层表面质量,避免损伤下层隧穿氧化层(SiO₂),是提升光伏电池效率和性能的关键工艺装备。
Poly 减薄功能
● 原理:利用超快激光打开背面 PSG(磷硅玻璃),再配合湿法工艺达到减薄多晶硅的目的。
● 作用:减少背面多晶硅对光的寄生吸收,从而实现降本增效。据拉普拉斯新能源科技股份有限公司的数据,量产电池效率提升0.15%+,组件功率提升4W+。
其他通用功能
● 高稳定性:开机率≥99%,碎片率低,18X 尺寸电池片碎片率≤0.02%,210 尺寸电池片碎片率≤0.03%,MTBF(平均无故障时间)≥800h,MTTR(平均修复时间)≤1h。
● 兼容性强:兼容硅片尺寸为 18X-210mm,兼容硅片厚度为 110-220μm,激光功率≥100W,功率稳定性≤2%,图形精度±15μm,重复精度 ±10μm。
● 自动化程度高:激光加工方式为振镜扫描,可根据客户需求实现离线或在线生产,方便与其他设备对接,提升生产流程的自动化水平。