电池激光Poly减薄设备

电池激光poly减薄设备/电池激光氧化设备

电池激光Poly减薄设备

功能介绍

主要用于光伏电池制造中,对电池片背面的多晶硅(Poly-Si)层进行选择性减薄处理,其主要功能包括:
减少寄生光吸收、优化电学性能、释放残余应力、实现图形化减薄。该设备通常结合湿法刻蚀或等离子体修复工艺,确保减薄后的Poly-Si层表面质量,避免损伤下层隧穿氧化层(SiO₂),是提升光伏电池效率和性能的关键工艺装备。

Poly 减薄功能
● 原理:利用超快激光打开背面 PSG(磷硅玻璃),再配合湿法工艺达到减薄多晶硅的目的。
● 作用:减少背面多晶硅对光的寄生吸收,从而实现降本增效。据拉普拉斯新能源科技股份有限公司的数据,量产电池效率提升0.15%+,组件功率提升4W+。

其他通用功能
● 高稳定性:开机率≥99%,碎片率低,18X 尺寸电池片碎片率≤0.02%,210 尺寸电池片碎片率≤0.03%,MTBF(平均无故障时间)≥800h,MTTR(平均修复时间)≤1h。
● 兼容性强:兼容硅片尺寸为 18X-210mm,兼容硅片厚度为 110-220μm,激光功率≥100W,功率稳定性≤2%,图形精度±15μm,重复精度 ±10μm。
● 自动化程度高:激光加工方式为振镜扫描,可根据客户需求实现离线或在线生产,方便与其他设备对接,提升生产流程的自动化水平。

参数配置
  • 产品尺寸L6060mm*W3400mm*H2500mm
  • 电池片尺寸18X-210mm
  • 产能≥10000片/小时@18X,≥9000 片 / 小时@210(与图形化有关)
  • 碎片率 ≤0.02%@18X
  • 稼动率 ≥98%
  • 激光波长 532nm
  • 激光频率 200~1500KHz(可定制)
  • 激光功率 平均功率≥100W
  • 功率稳定性 ≤2%
  • 激光器寿命 20000小时 (保修)
  • 扫描方式 振镜扫描
  • 光斑大小 可定制
  • 扫描速度 ≥70m/s
  • 图形打标精度 ≤±15μm
  • 上料视觉检测 检测崩边、缺角@工业相机2000万
  • 下料视觉检测 Mark间距,PT精度测量,推断图形偏移@工业相机2000万
  • 图形兼容性 兼容plt;dxf;dwg图形格式
  • 除尘及过滤效率 机台内部万级,外部千级
工艺表现