激光诱导金属化(LIM)设备

激光诱导金属化(LIM)设备

激光诱导金属化(LIM)设备

功能介绍

主要用于优化金属与半导体的接触,降低接触电阻,从而提高光伏电池的转换效率。

1、精确破坏钝化层:利用激光诱导局部载流子形成高电流密度,精确破坏局域钝化层形成银硅合金接触,在不损伤硅片基底的前提下,为金属接触提供良好的界面。
2、优化金属接触与降低电阻:通过激光诱导的方式,促进金属与硅片之间的良好接触,有效减少金属 – 半导体接触电阻,进而提升电池的填充因子和转换效率。拉普拉斯的 LIM 设备可使电池效率增益≥0.3% abs。
3、高产能:采用双工位同时进行激光工艺,产能较高。以拉普拉斯的设备为例,处理 18X 尺寸电池片时产能 > 9600 片 / 小时,处理 210 尺寸电池片时产能 > 9000 片 / 小时。
4、高稳定性与低碎片率:设备运行稳定,开机率≥98.5%,碎片率低,18X电池片碎片率≤0.02%,210电池片碎片率≤0.03%。
5、兼容性强:可兼容多种尺寸的硅片,适配 TOPCon整片、多分片以及0BB等多种版型。
6、工艺监测与不良品剔除:具备工艺电压电流实时监测功能,能够精准剔除 NG 片,保证产品质量的一致性。
7、激光加工方式灵活:标配面扫方案,采用方形大光斑处理电池片整面,调试难度低、稳定性与兼容性好,光路免维护。
8、工艺拓展性:兼容整片、多分片二次LIM,通过差异化激光处理方式补偿一次LIM工艺不充分或经其他工序后的衰退问题,具有额外0.05%abs的提效。

技术效果

参数配置
  • 产品尺寸L3100mm*W3450mm*H2400mm
  • 电池尺寸18X-210mm;厚度100-220μm
  • 产能≥9600片/小时
  • 碎片率≤0.02%@18X;≤0.03%@210
  • 稼动率≥98.5%
  • 激光功率≥300W
  • 图形精度±15um
  • 重复精度±10μm
  • 效率增益≥0.3%
  • 激光方案面扫