主要用于太阳能电池制造，其核心功能是在电池片边缘沉积钝化层，以提升电池的性能和稳定性。
1、激光划片功能：通过激光精确控制加热与局部辅助冷却，使硅片产生较大温度梯度，当材料热应力达到断裂阈值时产生断裂，裂缝沿着激光束路径引起的热梯度传播，从而使材料完全分开。该功能可处理的电池尺寸为 18X-230mm，厚度为 110-230μm，产能≥12000 片 / 小时，碎片率≤0.02%@18X、≤0.03%@210，稼动率≥98.5%
2、断面钝化功能：利用激光无损切割技术对电池切片，同步采用原子层沉积（ALD）工艺在电池切边边缘沉积 AlOx 钝化层，适用于TOPCon 电池应用。其平均开机率为 99%，载片量为 21600 半片 / 单管载片，膜厚均匀性片内及片间≤7%，批间≤3%，采用四分热场，12 段独立控温，兼容 400℃退火工艺，工艺用源：TMA+水。
3、测试分选功能：具备 AOI 外观检测、IV 测试、EL 测试等功能，可检测边缘缺口、崩边、污染、异物等缺陷，电压测试分辨率为0.0001V，电流测试分辨率为 0.0001A，IV 动态稳定性 <0.05%，静态稳定性 < 0.02%，每轮 EFF 极差≤0.05%，EL 可检测最小缺陷大小为 0.5mm*0.5mm，分档≥120bin 分档 (单边)，整片，8500片/h，Uptime≥98.5%。
4、整体性能优势：采用先进的原子层沉积技术，管式时间型结构，完全隔离反应源，纯ALD反应，无CVD成分，确保薄膜的均匀性、致密性、折射率，且自带工艺升温退火，降低爆膜风险，显著提升电池的性能（转换效率）和可靠性。系统设计合理，自动化程度高，能够实现长时间稳定运行，减少设备停机时间，提高生产效率。同时，该系统具备良好的兼容性和可扩展性，能够满足不同客户的需求，适应未来技术升级和产能扩张。
