检测分析
隐裂检测仪
产品简介：主要检测电池的隐裂、崩边、碎片、叠片缺陷。
参数性能：CT：≥5000psc/小时（匹配自动化产能）；误判率:≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；漏检率:≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）
花篮碎片检测仪
产品简介：主要用于制绒、碱抛、扩散等工艺段花篮检测，检测碎片带液、连片、缺片、错齿、插片不齐等等。
参数性能：CT≤5s/psc；破片检测最小尺寸：≤10x10mm；碎片检测最小尺寸：≤5x5mm；漏检率：≤1%；漏判率：”≤0.1%
石英舟碎片检测仪
产品简介：对运动过程中石英舟顶齿进行在线实时检测，可对石英舟所搭载硅片的翘片、掉片、舟面碎片、空片进行检测。
参数性能：匹配自动化产能，不低于自动化产能；漏检率：≤2%；漏判率：”≤0.2%
石墨舟碎片检测仪
产品简介：对运动过程中的石墨舟顶齿进行在线实时检测，可对石墨舟所搭载硅片的翘片、掉片、舟面碎片、空片进行检测。
参数性能：匹配自动化产能，不低于自动化产能；漏检率：≤2%；漏判率：”≤0.2%
方阻检测仪
产品简介：采用接触&非接触测量方式，在线检测硅片方阻，用于监控扩散工艺的非接触方阻测试仪，支持多点测试或线扫模式。
参数性能：CT≤接触式≤5s/psc/非接触式≤1s/pcs；静态重复性：≤1.5%；动态重复性≤1.5%；测试准确性：≤1.5%
反射率检测仪
产品简介：通过非接触的方式采集样品光谱信息并转化为电信号，并使用特有算法解析并计算获得反射率信息。
参数性能：CT：≤0.5s/pcs（匹配自动化产能）；反射率静态重复精度：±0.05%；反射率精准性：±0.1%
膜厚检测仪
产品简介：通过非接触的方式采集样品光谱信息并转化为电信号，并使用特有算法解析并计算获得膜厚和折射率等薄膜光学常数。可测试PolySi、SiO2、BC电池图案化PolySi膜层、SiNx、ITO、ZnO、TiO2、SnO2等薄膜
参数性能：CT：≤0.5s/psc（匹配自动化产能）；膜厚测试范围：40nm-2000nm；膜厚静态重复性测量精度：标准差≤0.5nm；Poly膜厚测试精准性:±3nm
AOI检测
产品简介：用于PECVD工序，配合自动插卸片机将镀膜后的电池片自动进行色差和缺陷检测。
参数性能：≥自动插卸片机每小时产能
漏检率≤0.1%
误检率≤0.3%
PL检测仪
产品简介：主要检测种类包括且不局限:隐裂、划伤、吸盘印、黑斑、同心圆、石墨舟印、手指印。
参数性能：CT：≥5000psc/小时（匹配自动化产能）；误判率:≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；漏检率:≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；重复性:NG片重复性98%
椭偏膜厚检测仪
产品简介：通过非接触的方式采集样品光谱信息并转化为电信号，使用特有算法解析并计算获得膜厚和折射率等薄膜光学常数。可测试SiNx、Al2O3、BSG等绒面薄膜。
参数性能：CT≤0.5s/psc（匹配自动化产能）；膜厚测试范围：40nm-2000nm；膜厚静态重复性测量精度：标准差≤0.5nm；膜厚测试精准性：±3nm
在线厚度检测仪
产品简介：通过微米级激光扫描仪进行原硅片厚度检测。
参数性能：CT≤0.6s/psc；扫描仪精度:±2μm；静态重复性:±3μm；硅片Z轴波动要求:≤0.5mm
AOI检测仪
产品简介：丝网：主要检测电池片印刷工艺后的断栅、印偏、线粗、背电极、漏浆等缺陷。正背膜：检测成品电池片的断栅、印偏、线粗、背电极、漏浆、粗栅、崩边、白斑、网版异常、片内色差等缺陷。
参数性能：CT：丝网≤0.6s/psc/正背膜≤0.7s/psc；误判率:≤5%，良率98%（计算方式：复判A级总数/NG总数 *100%）；漏检率:≤0.1%，良率98%（计算方式：漏判总数/总检测数量*100%）
EPL检测仪
产品简介：采用非接触式结构测量EL图像与PL图像，相较常规EL，不对电池造成接触式损伤，提高现场良率。
参数性能：CT≥5000s/psc，（匹配自动化产能）；误判率：≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；漏判率：≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；重复性：NG片重复性98%
IV&EL检测仪
产品简介：EL：通过机器视觉实时检测太阳能电池片的缺陷的检测系统，将电池片进行等级分档，同时对检测数据进行统计分析，根据缺陷面积、缺陷数量等各种属性进行缺陷卡控，主要检测种类包括且不局限：隐裂、划伤、吸盘印、黑斑、同心圆、石墨舟印、手指印等。IV：支持四象限测量、阶梯光强、逆向电流测试，多种测试方法，准确测量Rs和Rsh。
参数性能：CT：≥5000s/pcs，（匹配自动化产能）；误判率：≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；漏判率：≤0.2%，良率98%（计算方式：误判总数/总检测数量*100%）；重复性：NG片重复性98%
激光光斑检测仪
产品简介：测量激光光束在电池片上形成的光斑尺寸、形状及能量分布的专业仪器。
参数性能：CT≤0.7s/pcs；像素点精度：1μm/Pixel；静态稳定性：±1μm
