拉普拉斯扩散/LPCVD自动上下料系统LLA8000/LLA15000
拉普拉斯扩散/LPCVD自动上下料系统LLA8000/LLA15000

拉普拉斯扩散/LPCVD自动上下料系统为在线式全自动上下料系统,具备在线方阻检测,AGV对接和MES等选配功能。

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系统的应用及特点

本设备使用6轴机器人搬运石英舟,可靠性高,且更具灵活性。本设备有一拖一LLA8000/00和一拖二LLA15000/00两种机型,适合客户不同产线与投资需求。


拉普拉斯石英舟自动上下料系统


拉普拉斯石英舟自动上下料系统


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