拉普拉斯低压水平多功能热处理系统 LMR370/05
拉普拉斯低压水平多功能热处理系统 LMR370/05

拉普拉斯最新的低压水平多功能热处理系统可单机集成低压磷扩、低压硼扩、低压氧化退火和LPCVD等功能,应用于各种高效电池的多种热处理关键工艺,为高效太阳能电池研发的核心工艺设备。

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系统的应用及特点

本设备适合156-210mm硅片生产,相比常规竖直插片具有更高的均匀性,能帮助客户提升高效电池的效率、集中性、和EL良率。




拉普拉斯低压水平多功能热处理系统 LMR370/05

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