拉普拉斯低压水平磷扩散系统 LRP370/05
拉普拉斯低压水平磷扩散系统 LRP370/05

拉普拉斯最新的水平低压磷扩散系统(扩散炉)可应用于P-PERC太阳能电池的N型发射极和N-TOPCon太阳能电池的非晶硅掺杂工艺等。

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系统的应用及特点


应用:

本设备适合156-210mm硅片生产,无传统技术的搭片及其带来的方阻均匀性问题,更高的方阻均匀性为客户带来更窄的效率分布和更高的电性能良率。更高的方阻均匀性为下一代高方阻工艺提供了可能,能帮助客户进一步提升转换效率和竞争力。本设备具有行业内最高产能,能帮助客户降低固定资产投入和运营成本。


产品特点:

1. 水平放片,管内空间利用率高,不仅能耗低,且具有业内最高的产能;

2. 硅片方向与气流方向一致,硅片对气流阻挡小,片内/片间均匀性更优;

3. 自重挤压,减少硅片间间隙,绕扩/绕镀可控;

4. 水平放片,更适合超大,超薄硅片生产;

5. 电池技术适用性和通用性高,可用于PERC,TOPCon等各种电池结构;

6. 整机模块化设计,兼容性好,可相互升级转换;


拉普拉斯低压水平磷扩散系统 LRP370/05


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