1. 最大样品尺寸： 2--6寸，多片；

    最高温度： 1200度；

    工作气体：多路气体（可选配），可通入氧气，氮气及惰性气体 

 2. 应用领域：

    快速热升温工艺（热退火）；

    薄栅氧化（纳米器件)；

    硅化物构造；

    硅化物界点构造等