硅基半导体器件用扩散炉Pindola™系列PRX300型
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技术参数:

    1.  可配工艺管外径:2-8英寸

    2.  可配工艺管数量:1-5管/台

    3.  工作温度范围:400-1280℃ 

    4.  恒温区长度及精度:300-1100mm 800-1280℃±0.5℃ 

    5.  单点温度稳定性:800-1280℃±0.5℃/24h 

    6.  最大可控升温速度:20℃/min 

    7.  最大降温速度:5℃/min


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