产品与技术
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Bhadra™立式LPCVD BHC200
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Bhadra™真空成型LVA400
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硅基半导体器件用LPCVD Pindola™系列PLX300型
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硅基半导体器件用扩散炉Pindola™系列PRX300型
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硅基半导体器件用氧化炉Pindola™系列POX300型
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硅基半导体器件用退火炉Pindola™系列PAX300型
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硅基半导体器件用ALD Pindola™系列Piax150型
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SiC/GaN基半导体器件用Bhadra™系列BHA200型超高温退火炉
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