产品与技术
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拉普拉斯低压水平磷扩散系统 LRP430
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拉普拉斯低压水平硼扩散系统 LRB430
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拉普拉斯低压水平氧化退火系统 LOX430
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拉普拉斯低压水平化学气相沉积镀膜系统 LPCVD LLP430
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拉普拉斯等离子增强化学气相沉积镀膜系统 PECVD Twin LPE430/470
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拉普拉斯水平等离子增强原子层沉积水平镀膜系统 PEALD LAD400/04
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拉普拉斯扩散/LPCVD自动上下料系统LLA8000/LLA15000
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拉普拉斯等离子体增强原子层沉积水平镀膜自动上下料系统 LAA3000/00
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