2020年10月1日，深圳市拉普拉斯能源技术有限公司与深圳大学半导体制造研究院签署了战略合作，半导体装备研发联合实验室建设，和研究生联合培养等协议。根据协议规定，双方将在产品开发，科学研究、教育教学、人才培养、高端人才引进、实习与就业等方面开展全面、深度合作，通过共建研究生联合培养基地、本科实践教学基地、合作建设省级半导体装备工程技术研究中心，开发ALD和PECVD等产品，实现科研成果落地转化和产业化。作为太阳能光伏、半导体行业的明星创业公司，拉普拉斯公司有效聚集创新产业链的技术、人才、载体、资金四大要素，形成了应用研发、人才培训、创新基地、投资孵化深度融合的科技创新服务体系。

深圳大学是扎根于深圳、成长于深圳、面向国际、富有改革和创新精神的特区大学。深大半导体制造研究院于2019年成立，依托机电与控制工程学院，针对我国半导体产业“软硬/硬软（设计较强/制造很弱）”的现状，主攻半导体“卡脖子”制造技术的研究开发，立足深圳及粤港澳大湾区，充分发挥产学研机制，直接服务于国内半导体制造产业，解国家燃眉之急。目前，研究院已有专职教职工6名、硕博研究生20余名。王序进院士为深圳大学半导体制造研究院创院院长，深圳大学全职特聘教授。王序进院士是1988年第一届中国青年科技奖获得者，在海外长年从事超精密加工、半导体芯片制造核心工艺和半导体制造设备的研发和量产工作，是该领域的世界级顶尖专家，研发的蓝宝石垫底超精密加工技术为世界首次实现LED量产做出了重大贡献，研发的0.05psi全世界最低压高端半导体芯片CMP制程工艺得到国际半导体业界的高度评价。

深圳市拉普拉斯能源技术有限公司成立于2016年5月，坐落于深圳市坪山区，公司致力于泛半导体领域所需高端装备的研发、生产、 销售和应用推广。拉普拉斯主要产品涵盖了低压水平扩散系统（包含硼扩散，磷扩散，氧化/退火）﹑低压化学气相沉积水平镀膜系统（LPCVD）﹑等离子体增强化学气相沉积水平镀膜系统（PECVD）、原子层沉积 （ALD），SiC/GaN基器件超高温退火/氧化炉等十几种高端制造装备以及相关配套自动化 系统和工业互联网云平台。目前公司已拥有超过152项专利，其中发明专利35项，参与了国家级半导体及光伏高端装备领域科技项目2项，拉普拉斯的产品和系统解决方案填补了国内泛半导体制造行业高端装备技术领域的多项空白。

未来，深圳拉普拉斯公司和深圳大学及所属院系将继续扎根深圳特区，充分发挥双方优势，围绕高校科技成果转化展开产学研创新合作，并积极推动各项工作落地见效，全面助力中国太阳能光伏及半导体行业的发展，为深圳更好地落实国家创新驱动发展战略，服务粤港澳大湾区建设，为深圳建设中国特色社会主义先行示范区提供有力支撑。